高精電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備,在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光學(xué)多層薄膜的精密真空鍍膜機(jī)。將滿足客戶需求的多種元件組合在一起，可以形成品質(zhì)更加優(yōu)良的薄膜。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
基片傘架采用了每分鐘最多可轉(zhuǎn)60轉(zhuǎn)的中心旋轉(zhuǎn)方式(公轉(zhuǎn))，減少產(chǎn)生振動(dòng)和顆粒，使基片能夠穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。
采坩堝上沒有極片的電子束加熱方式(2臺(tái)電子槍，10kW型)作為蒸發(fā)源，可以穩(wěn)定地形成多層膜。
采用本公司獨(dú)有的比率控制法和多點(diǎn)在線監(jiān)控，可以形成高精度且穩(wěn)定的光學(xué)多層膜。
可利用操作性良好的升降機(jī)來取出基片傘架。