| 臥式ONINE-LINE磁控連續(xù)線（NH-MGLX系列） | |
|---|---|
| NH-MGLX5000TEL | |
| 鍍膜區(qū)域 | 高1500*寬2000 |
| 結(jié)構(gòu) | 采用高效的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線，配備前后粗抽室， 前后過渡室，前后精抽室，前后緩沖室，彩鍍室。 |
| 靶材設(shè)計(jì) | 采用新型旋轉(zhuǎn)陰極靶材以及平面陰極靶材 |
| 電源系統(tǒng) | 配備大功率中頻磁控濺射電源 |
| 真空室結(jié)構(gòu) | 立式單門，整體箱式布局 |
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵（分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+深冷泵 |
| 水壓流速 | ≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mp |
| 極限真空 | 3.0×10-2Pa |
| 一般規(guī)格 | W1200mm*L2000mm(單室） W1500mm*L2400mm(單室） |
| 真空室尺寸 | 真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 |
| 控制方式 | 手動(dòng)＋半自動(dòng)＋全自動(dòng)—體化/觸摸屏＋PLC |
| 充氣系統(tǒng) | MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀 |